一台EUV光刻機一天耗電達3萬度 - 手機討論

Frederica avatar
By Frederica
at 2018-04-09T15:15

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據了解,目前半導體制程的主流光源是氬氟雷射,波長為 193 納米,當晶體管尺度已微
縮到幾十納米時,就像用一支粗毛筆寫蠅頭小字一般,生產起來有點力不從心。而極紫外
光的波長僅有 13.5 納米,這也使得 EUV光刻機成為了攻克7nm、5nm甚至更高制程工藝的
關鍵。

而EUV光刻機除了售價高昂之外,其耗電也是非常之驚人!

“極紫外光物理特性與一般常見的紫外光差異極大。這種光非常容易被吸收,連空氣都不
透光,所以整個生產環境必須抽成真空;同時,也無法以玻璃透鏡折射,必須以硅與鉬製
成的特殊鍍膜反射鏡,來修正光的前進方向,而且每一次反射仍會損失 3 成能量,但一
台 EUV 機台得經過十幾面反射鏡,將光從光源一路導到晶圓,最後大概只能剩下不到
2% 的光線。”這也是 EUV 機台如此耗電的主因之一。

另外需要指出的是,如此大的耗電量也不可避免的帶來了很大的發熱量,因此需要部署相
應的冷卻系統,而這也將非常的耗電。
http://cj.sina.com.cn/article/detail/5772303575/363681?column=tech&ch=5

‧一套EUV光刻系統包含10萬個零件、3千條電線、4萬個螺栓與2公里長的軟管
‧一套EUV光刻系統重約18萬公斤
‧一套EUV光刻系統需藉由40個貨櫃、20台卡車以及3架貨機才能完成運送
‧一套EUV光刻系統包含一個重達7,600公斤的大型真空室 (vacuum chamber)
http://www.semi.org.cn/magazine/article.asp?id=2201

所以在台灣要有光刻機 應該是非常難的事吧~
電力吃緊 然後台灣又特別熱 不像韓國一樣 天氣冷好散熱
之前台媒報導台GG一口氣買了五台 不知是真是假??
一天三萬度一年就是一千萬度 五台就是五千萬度

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Tags: 手機

All Comments

Iris avatar
By Iris
at 2018-04-14T05:30
維大力?
Necoo avatar
By Necoo
at 2018-04-18T19:44
這跟手機版有關嗎?
Iris avatar
By Iris
at 2018-04-23T09:58
雖然soc跟這個有關
Wallis avatar
By Wallis
at 2018-04-28T00:12
今天夏天又要限電囉
Zora avatar
By Zora
at 2018-05-02T14:27
沒關係,台灣人有愛
Ursula avatar
By Ursula
at 2018-05-07T04:41
挖 那台灣有這樣的環境給機器嗎...?
Daniel avatar
By Daniel
at 2018-05-11T18:55
gg都發重訊了還在是真是假
Leila avatar
By Leila
at 2018-05-16T09:09
這麼省哦,gg還不多買幾台
Selena avatar
By Selena
at 2018-05-20T23:24
這樣一台也才1250千瓦而已吧如果這點用電量都負擔不了台灣可以亡國了
Frederic avatar
By Frederic
at 2018-05-25T13:38
少見多怪
Ula avatar
By Ula
at 2018-05-30T03:52
1250千瓦wow
Harry avatar
By Harry
at 2018-06-03T18:06
不懂得 跑去抵制GG
Bennie avatar
By Bennie
at 2018-06-08T08:21
用愛發電
Barb Cronin avatar
By Barb Cronin
at 2018-06-12T22:35
電廠生電又要開始抖了!可以叫那些用愛發電的人去?
Victoria avatar
By Victoria
at 2018-06-17T12:49
就5nm預計用電量是28nm的1.5倍 產值是幾倍自己算 這點電都沒辦法給 大家回去種田算了 只會韓國好棒棒不曉得是哪來的想法
Hardy avatar
By Hardy
at 2018-06-22T03:03
臺灣還真的有可能這點電都給的很困難..用愛發電吧
Jack avatar
By Jack
at 2018-06-26T17:18
台灣就是負擔不了啊 不然你們全部給我用愛發電
Mason avatar
By Mason
at 2018-07-01T07:32
不要夏季頻40度高溫
Megan avatar
By Megan
at 2018-07-05T21:46
不過既然這個光譜這麼容易衰減,為什麼不要用更高的X光呢?波長更短能夠出產更精細的半導體產品。
Faithe avatar
By Faithe
at 2018-07-10T12:00
電化學或冶金工業 耗能隨便都超出這個數字好幾倍吧
Gilbert avatar
By Gilbert
at 2018-07-15T02:15
只有核能能發電??核廢料減量vs碳減量,核事故vs一般電廠事故,沒有對錯只講好的就是幹話.
Elvira avatar
By Elvira
at 2018-07-19T16:29
這點用電量在整體工業用電根本就是小兒科
Kumar avatar
By Kumar
at 2018-07-24T06:43
ASML NXE3100的年代,差不多iPhone 4S的時候……那時就知道很耗電了好嗎………
Regina avatar
By Regina
at 2018-07-28T20:57
關這個板屁事
Delia avatar
By Delia
at 2018-08-02T11:12
Track+Scan 合併平均差不多6xkWh
Kyle avatar
By Kyle
at 2018-08-07T01:26
EUV 機台敘述才幾個字卻至少錯5個觀念, 貼這個此版無關還錯誤百出的新聞意義是?
Agnes avatar
By Agnes
at 2018-08-11T15:40
所要台積電不關本版的事?
Megan avatar
By Megan
at 2018-08-16T05:54
不是直接相關,但也是間接相關,台積電是行動SoC代工的最大廠,照理跟手機的淵源不淺
Christine avatar
By Christine
at 2018-08-20T20:09
目前製造行動用SoC的半導體製程,就看台積電跟三星而已不是嗎? 顆顆
Megan avatar
By Megan
at 2018-08-25T10:23
知道真相的又不說的意思是?
Ethan avatar
By Ethan
at 2018-08-30T00:37
台灣的發電有高達7成是火力發電,核能只佔1成多一點,而且只用來基載和工業而已,某些人的言論讓我想到不怕萬年核輻射,卻怕超低電磁波基地台
Poppy avatar
By Poppy
at 2018-09-03T14:51
爽到天然氣發電業,搭配綠能發電下尖載當基載使用
Una avatar
By Una
at 2018-09-08T05:06
把不賺錢的鋼鐵廠關一關就有電了
Edward Lewis avatar
By Edward Lewis
at 2018-09-12T19:20
真以為鋼鐵業本意在賺錢嗎…
Harry avatar
By Harry
at 2018-09-17T09:34
一句話,讓GG自己蓋電廠,GG唯一生路。
Leila avatar
By Leila
at 2018-09-21T23:48
重啟核電廠?!
Isla avatar
By Isla
at 2018-09-26T14:03
用x光??某樓真我懂嗎?光阻只能跟uv做光鍵結呀
Enid avatar
By Enid
at 2018-10-01T04:17
如果要用在刻印,也只能用uv當雷射,x光只會穿透
Jacob avatar
By Jacob
at 2018-10-05T18:31
某樓的物理要砍掉重練了吧x逛的穿透力有多強真的不知道?x光
Ida avatar
By Ida
at 2018-10-10T08:45
認真問一句,這個跟手機版有點偏了吧
Sierra Rose avatar
By Sierra Rose
at 2018-10-14T23:00
以台灣目前的發電情況,根本沒資格挑要綠能還是核能
Rae avatar
By Rae
at 2018-10-19T13:14
X光,你是要拿來晶體繞射嗎?XD
Emily avatar
By Emily
at 2018-10-24T03:28
X光??????
Ingrid avatar
By Ingrid
at 2018-10-28T17:42
GG早就在用了
Necoo avatar
By Necoo
at 2018-11-02T07:57
說用x-ray能曝光的應該是文組的吧
Annie avatar
By Annie
at 2018-11-06T22:11
光刻機不知道是哪一個國家的用語?

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Agatha avatar
By Agatha
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