英特爾不僅10nm延期，EUV光刻工藝也要落 - 3C

英特爾不僅10nm延期，EUV光刻工藝也要落後三星、台積電兩年
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隨著Globalfoundries公司無限期退出7nm及以下工藝研發，全球有能力研發先進工藝的只
剩下英特爾、台積電及三星，其中英特爾公司是過去幾十年中半導體工藝最強大的公司，
但是現在他們的10nm工藝都延期到明年底，台積電、三星的7nm已經或者即將量產。英特
爾在製程工藝上的延期不只是影響10nm及未來的7nm工藝，更重要的是英特爾使用EUV光刻
工藝也面臨不確定性，分析稱2021年底英特爾都不太可能用上EUV工藝，而台積電、三星
明年的7nm改進版工藝就會用上EUV工藝。

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常看超能網的讀者應該知道EUV光刻機對7nm及以下的工藝節點非常重要，目前全球唯一能
生產EUV光刻機的就只有荷蘭ASML公司了，而EUV光刻機研發已經有二十多年歷史了，現在
的EUV光刻機雖然已經量產出貨，但在產能還達不到要求，所以台積電首先推出了不使用
EUV光刻工藝的第一代7nm，預計明年的7nm+增強版工藝上才會使用EUV光刻工藝。

在EUV光刻機上，三星是最激進的一家，直接在7nm工藝上首發EUV工藝，但這也導致三星
的7nm工藝難度高，進展比台積電更慢，台積電今年中就開始量產7nm晶元，三星的7nm
EUV工藝預計要到明年初才能正式量產，而且客戶數量遠低於台積電的50多家。

GF公司原本也在第二代7nm工藝上使用EUV工藝，不過他們現在退出了7nm工藝的研發、生
產，EUV光刻機也用不上了，不知道會如何處理他們的EUV光刻機及之前的ASML光刻機訂單
。

在EUV工藝上，英特爾還是最早投入研發資源的半導體公司之一，但是現在英特爾的不確
定性也是最大的，前幾年英特爾還表態他們並不依賴EUV工藝，即便沒有EUV光刻機也懂得
如何製造7nm工藝的晶元，這番豪言已經是2014年的事了。

現在英特爾最大的麻煩不是EUV光刻工藝，他們首先要解決的是10nm工藝的量產，將良率
提高到可以接受的程度，在2019年底正式推出基於10nm工藝的處理器，而在2020年才有可
能大規模生產出移動、桌面、伺服器版的10nm晶元。

英特爾的7nm工藝尚在研發中，英特爾透露的消息非常少，此前只是表態稱7nm工藝上吸取
了10nm工藝的教訓，不搞太浮誇的指標以便降低量產難度。至於EUV工藝，英特爾官方沒
有正式表態呢，EETiems上周在報道中援引伯恩斯坦分析師Mark Li的消息稱英特爾還在等
待EUV技術更加成熟，在2021年底之前不會將EUV工藝納入到其工藝技術中去。

這個分析意味著英特爾至少要在三年後才能用上EUV工藝，即便2021年末真的推出了EUV工
藝，那也意味著英特爾在這個技術進度上落後台積電、三星公司兩年時間，儘管英特爾的
決定可能更成熟一些，在新工藝技術問題沒解決之前上EUV工藝可能會引入額外的風險。
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哀家︰所以我們決定先漲價
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